環境経営

ウェハの処理は、クリーンルームで行われ、その工程では超純水が使用されます。水道からの水はいったん純水製造システムに取り込まれ、一次処理、二次処理を経て超純水となって生産ラインに供給されます。生産工程で使用 (主にウェハの洗浄) した水は、不純物の含有率によって3つの等級に分けて排水ラインで回収されます。

不純物が比較的少ないレベル1の排水は、純水回収系処理システムを通したあと、純水製造システム側へ戻され、再び超純水として使用されます。レベル2の排水は、純水回収系処理システムを通すことにより、純水（超純水よりグレードの低い水）として再生され、ボイラー用水、冷凍機の冷却水などに利用されます。レベル3の排水は廃液処理システムによって中和処理等を行った後、下水道放流されています。

また、この「用水リサイクルシステム」で処理されるウェハ洗浄用水以外の水についても、リサイクル活動を行っています。
例えば、貫流ボイラーの溶存酸素測定用のサンプル水は従来、測定後は放流していましたが、この水をボイラー用水として再利用できるようにしました。その際、各装置の位置を変更することで、落差を利用して給水タンクへ戻し、ポンプ等のエネルギーを使用することなく、用水の再利用が可能になりました。
これらの活動により、用水全体の約65.6%をリサイクル水でまかなっており、年間に換算すると約337千m³ (2018年度実績) の用水使用量の削減を実現しています。

オンサイト窒素発生装置を導入するまでは、タンクローリーで液体窒素を運んでもらい、やしろ工場内でガス化して使用していましたが、輸送のための液化時に掛かるエネルギー消費や輸送時の燃料消費などによる環境負荷の低減を目的に2009年に空気中から窒素だけを精製するオンサイト窒素発生装置を導入しました。

窒素は空気に最も多く含まれる気体で、その濃度は78%になります。
オンサイト窒素発生装置は空気を圧縮し、不純物を除去した後、熱交換器で-180°C付近まで冷却し、精留塔内で酸素 (-183°C) と窒素 (-196°C) の沸点の違いを利用した精留分離 (深冷分離方式) により高純度な窒素を精製します。

導入に伴い、サイト内のCO2は増加しますが、サイト外での液体窒素の製造、輸送による環境負荷が低減するため、窒素購入におけるライフサイクルCO2を3,360 t-CO2/年削減することができました。
更に、液体窒素の製造、輸送コストが削減されたため、窒素購入価格を低減することができ、災害時などの不測の事態による窒素供給不安のリスクも解消され、生産を維持・継続するレベルが向上し、お客様の安心・安全操業にも貢献しています。